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提出高精密电子元件制造过程中所用高纯氨的现场制备系统及方法，包括：从液体氨储存容器采出氨蒸汽，再使氨蒸汽通过可滤除小到０．００５微米颗粒的过滤器，随后于高－ｐＨ含水液－蒸汽接触单元内洗涤经过滤的蒸汽。...
该专利属于斯塔泰克文切斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯塔泰克文切斯公司授权不得商用。

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