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具有P型掺杂区和凹陷缓冲层的4H-SiC金属半导体场效应管制造技术
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下载具有P型掺杂区和凹陷缓冲层的4H-SiC金属半导体场效应管的技术资料
文档序号:32214600
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本发明涉及场效应晶体管技术领域,公开了一种具有P型掺杂区和凹陷缓冲层的4H
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该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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