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一种在半导体衬底上固化旋涂玻璃材料的方法，包括以下步骤： 在真空室中在半导体衬底上放置或留下旋涂玻璃层； 用大面积的电子束辐照旋涂玻璃层，以对旋涂玻璃层的整个表面进行基本上均匀的曝光，并有足够的能量穿过层的整个厚度；以及 ...
该专利属于联合讯号公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合讯号公司授权不得商用。

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