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静态感应器件制造技术
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文档序号:3221447
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一种槽形栅结构的静态感应器件,其栅上覆盖着由金属、金属硅化物或金属与金属硅化物复合层构成的良导体,良导体上面覆盖着一层绝缘层。源金属层覆盖着源区及槽形栅良导体上的绝缘层。其结构紧密,栅电阻小,能提高器件的电流能力、功率容量和开关速度。...
该专利属于张爱珍所有,仅供学习研究参考,未经过张爱珍授权不得商用。
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