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晶体管和非易失半导体存储器制造技术
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文档序号:3221434
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一种包括源-漏区、沟道区、浮栅和控制栅的存储单元。所述浮栅被彼此靠近地布置在栅绝缘层上沟道区的上方,控制栅被布置在一个绝缘层和另一个绝缘层上浮栅的上方,这两个层都是用LOCOS方法形成的。利用所述绝缘层在浮栅的上角形成突起部分。控制栅的中心...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。
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