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复合结构的晶体管制造方法及晶体管技术
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文档序号:3221411
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本发明涉及一种固体器件,特别是双极型静电感应器件的制造方法和用这种方法制造的晶体管,以及一种新结构的双极型静电感应器件。本发明的目的通过下述方式实现:首先在衬底材料表面形成绝缘层,然后在绝缘层上刻出第一扩散的窗口,用扩散或注入的方式形成栅区...
该专利属于兰州大学所有,仅供学习研究参考,未经过兰州大学授权不得商用。
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