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基于硅波导主流法监测人体呼出水蒸气和二氧化碳气体的传感器制造技术
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下载基于硅波导主流法监测人体呼出水蒸气和二氧化碳气体的传感器的技术资料
文档序号:32212822
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本发明公开了一种基于硅波导主流法监测人体呼出水蒸气和二氧化碳气体的传感器,环形谐振腔利用多个耦合区域形成多个支路使得光分别耦合进入三个马赫
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该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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