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本实用新型属于微机械惯性传感器芯片技术领域，涉及一种用于过载缓冲的微机械芯片。芯片包括：负载粘接区、弹性梁、键合区、衬底区、绝缘层、衬底电极区、电极区；衬底区上面设置有衬底电极区，衬底电极区内设置有电极，衬底区上表面除衬底电极区之外的位置都...该专利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所授权不得商用。