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本发明的目的是使ＩＰＡ蒸汽的状态稳定，缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽（１１）上方的开口部（２２）两侧相对设置喷嘴（１３）以及排气件（１４）。处理槽（１１）的侧壁随着从下方附近接近开口部（２２）而向内侧圆滑弯曲。喷嘴（１３）将氮气供给...该专利属于菱电半导体系统工程株式会社;三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过菱电半导体系统工程株式会社;三菱电机株式会社授权不得商用。