下载能用低介电常数非晶氟化碳膜作为层间绝缘材料的半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:3221146

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在非晶氟化碳膜与金属之间的界面放置诸如氮化钛高熔点含氮金属膜。由于高熔点含氮金属膜的防止氟扩散的功能,得到的结构能防止加热处理时诸如金属与氟反应等问题,也可以解决金属膜的塌下或膨胀。另外,在制造步骤中可以引入热处理步骤,所以可以完成实用的由...
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