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用于半导体制造装置的控制装置和控制方法制造方法及图纸
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下载用于半导体制造装置的控制装置和控制方法的技术资料
文档序号:3221103
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一种控制装置,其包括:多个按照参数运行的处理装置;用于存储与处理装置的处理相关的参数的存储部分;为处理装置设定预定的参数的触摸屏;和参数管理部分。参数管理部分根据处理装置之一发出的要求,将相应的一个存储参数发送到该处理装置,将设定的参数之一...
该专利属于东京电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京电子株式会社授权不得商用。
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