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纵向晶体管制造技术
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文档序号:3221016
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一种存储器单元如DRAM单元中用的纵向晶体管,它具有沟道电容器。该纵向晶体管包括栅,该栅有位于沟道电容器上的水平部分和垂直部分。...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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