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一种取代GPP工艺的新芯片的制备方法技术
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文档序号:32209052
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本发明公开了一种取代GPP工艺的新芯片的制备方法,经过扩散、一次匀胶、一次光刻、蚀刻、一次去光刻胶、清洗、匀PI胶、PI胶预固化、二次匀胶、二次光刻、去除PI胶、二次去光刻胶、PI胶固化、点测、划片和裂片工序,完成取代GPP工艺的新芯片的制...
该专利属于如皋市大昌电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过如皋市大昌电子有限公司授权不得商用。
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