下载一种取代GPP工艺的新芯片的制备方法的技术资料

文档序号:32209052

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本发明公开了一种取代GPP工艺的新芯片的制备方法,经过扩散、一次匀胶、一次光刻、蚀刻、一次去光刻胶、清洗、匀PI胶、PI胶预固化、二次匀胶、二次光刻、去除PI胶、二次去光刻胶、PI胶固化、点测、划片和裂片工序,完成取代GPP工艺的新芯片的制...
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