下载外观检查装置及外观检查方法的技术资料

文档序号:32208078

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外观检查装置是使用拍摄检查对象物(M)而得的图像数据进行外观检查的外观检查装置。外观检查装置具备:两个光发射部,该两个光发射部朝向检查对象物发射光;以及拍摄部,该拍摄部对检查对象物的被两个光发射部照射光的检查区域进行拍摄。在沿与拍摄部的光轴...
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