外观检查装置及外观检查方法制造方法及图纸

外观检查装置是使用拍摄检查对象物(M)而得的图像数据进行外观检查的外观检查装置。外观检查装置具备：两个光发射部，该两个光发射部朝向检查对象物发射光；以及拍摄部，该拍摄部对检查对象物的被两个光发射部照射光的检查区域进行拍摄。在沿与拍摄部的光轴方向正交的方向观察时，两个光发射部位于至少一部分在光轴方向上重叠的位置，且在沿光轴方向观察时，两个光发射部位于离拍摄部的光轴的距离不同的位置。同的位置。同的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】外观检查装置及外观检查方法


[0001]本专利技术涉及一种外观检查装置及外观检查方法。

技术介绍

[0002]已知进行检查对象物的外观检查的外观检查装置。作为上述的外观检查装置，例如专利文献1公开了一种安装部件的检查装置，其对安装于印刷基板上的电子部件的安装状态进行检查。
[0003]上述检查装置具备：相机，该相机获得电子部件的图像；光源，该光源供给对所述电子部件进行照射的光；圆顶形扩散板，该圆顶形扩散板配置于光源和电子部件之间，使从光源发射的光扩散并以各种角度对部件进行照射；以及处理部，该处理部通过比较由所述相机获得的部件的画像和预先登记的基准画像，对安装是否良好进行判定。
[0004]上述检查装置中，利用上述圆顶形扩散板从各种角度向基板上的部件照射光，因此，即便部件的倾斜度、形状不同，在上述部件的上表面处反射的反射光也会到达上述相机。由此，能利用始终稳定的反射光来获得上述部件的图像。
[0005]现有技术文献专利文献特許文献1：日本特开平10
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255021号公报
专利技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种外观检查装置，使用拍摄检查对象物而得的图像数据进行外观检查，具备：多个光发射部，该多个光发射部朝向所述检查对象物发射光；以及拍摄部，该拍摄部对所述检查对象物的被所述多个光发射部中的至少一个光发射部照射光的检查区域进行拍摄，在沿与所述拍摄部的光轴方向正交的方向观察时，所述多个光发射部位于至少一部分在所述光轴方向上重叠的位置，且在沿所述光轴方向观察时，所述多个光发射部位于离所述拍摄部的光轴的距离不同的位置。2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其中，所述多个光发射部包括：第一光发射部；以及第二光发射部，在沿所述光轴方向观察时，所述第二光发射部位于隔着所述光轴与所述第一光发射部相反的一侧，且在沿所述光轴方向观察时，所述第二光发射部位于与所述第一光发射部相比相对于所述光轴的距离小的位置；在沿所述光轴方向观察时，所述第一光发射部朝向所述检查对象物以靠近所述光轴的方向发射光；在沿所述光轴方向观察时，所述第二光发射部朝向所述检查对象物以离开所述光轴的方向发射光。3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其中，所述第一光发射部是在沿所述光轴方向观察时径向内侧被所述光轴贯通的第一圆环构件的一部分，所述第二光发射部是在沿所述光轴方向观察时径向内侧被所述光轴贯通的第二圆环构件的一部分，所述第一圆环构件的内径比所述第二圆环构件的外径大，且所述第一圆环构件呈与所述第二圆环构件同心状地定位。4.根据权利要求3所述的外观检查装置，其中，所述第一圆环构件...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田惠司，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：