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本实用新型涉及一种消除CMP加工中心边缘差异的设备，包括上表面设有载物组件的机架，还包括载物组件上面设置的旋转组件，其特征在于：所述载物组件包括转盘及转盘轴心下设置的驱动装置，所述转盘上表面活动嵌设有动力载物台，所述动力载物台上表面设有用于...
该专利属于江苏中科晶元信息材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中科晶元信息材料有限公司授权不得商用。

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