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一种光掩模具有一个用一条遮光带（１１ａ／１１ｂ）实现的主图形（１１）以及一个用半透明带（１２ａ－１２ｆ）实现的副图形（１２），遮光带与半透明带的宽度相等，以致能使遮光带接近分辨率而不损坏副图形的效应。...
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