下载电流收集系统及其制备装置和制备方法的技术资料

文档序号:32202415

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本发明提供一种电流收集系统及其制备装置和制备方法,属于栅线制备技术领域。所述电流收集系统的制备装置包括:真空溅射镀膜单元,用于将溅射产生的金属沉积到组件与掩膜板的贴合位置以形成金属栅线;以及按压单元,设置在所述组件和所述掩膜板的上方且与所述...
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