温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种有源液晶显示器的薄膜晶体管开关器件制作方法。在氢化非晶硅（ａ－Ｓｉ：Ｈ）有源层上用光刻方法制作一绝缘介质层，绝缘介质层为倒梯形结构和矩形结构，上边长等于栅电极宽度，也可以小于栅电极宽度，高度大于１．５倍的源、漏电极的厚度。...
该专利属于中国科学院长春物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。