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半导体只读存储器及其制造方法技术
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文档序号:3219940
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具有平行沟槽的半导体只读存储器(ROM),具有沿沟槽的长度方向在沟槽底部和沟槽顶部布置的位线,具有横向于此布置的字线,并且具有在沟槽侧壁中垂直布置的晶体管,其特征在于,沟槽(2)含有绝缘物填料(12),其中在一个沟槽侧壁(4)上只有一个晶体...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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