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一种离子喷镀装置，其特征在于在这种离子喷镀装置中在真空容器上配设带有磁铁部件的多个等离子体枪、在多个等离子体枪中各自设有导向线圈、在真空容器中与多个等离子体枪相对应配设有多个炉床，在上述多个炉床的周围各自设有环状永久磁铁，相邻的２个等离子体...
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