下载一种自动化半导体输入中转设备的技术资料

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本实用新型公开了一种自动化半导体输入中转设备,主体柜上呈线性排列有多个升降料盒,升降料盒的一端对应排列有多个输入导轨,在输入导轨上设有与主体柜可拆卸连接并用于驱动半导体物料至升降料盒内的驱动组件,驱动组件包括支撑框架、Z轴气缸、固定座、无杆...
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