温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

制造半导体元件的一种方法，可以提高界定元件各掺杂部位和分隔各掺杂部位的精确度。形状可选择的部位由例如多晶硅组成，起界定待掺杂的一个或多个部位；在敷上掩模之前淀积到元件上。这样可以使掩膜的固定要求不那么严格，只要固定在多晶硅层的部位即可，从而...
该专利属于艾利森电话股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾利森电话股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。