下载空气桥的制备方法、用于制备空气桥的掩模及量子器件的技术资料

文档序号:32193559

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本发明公开了一种空气桥的制备方法、用于制备空气桥的掩模及量子器件,本申请提供了一种空气桥的制备方法,所述空气桥包括桥面和桥墩,包括以下步骤:提供衬底;形成支撑层于所述衬底上,所述支撑层包括具有水平表面的第一支撑体和具有倾斜表面的第二支撑体;...
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