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根据本发明的原位测量工艺参数的测量器件包括其上形成有至少一个处理芯片的半导体晶片。处理芯片还包括至少一个测量工艺参数的传感器。还包括在至少一个传感器测量到工艺参数时存储工艺参数的存储器件。提供与时间成函数关系跟踪工艺参数的定时器件，还包括为...
该专利属于西门子公司;国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司;国际商业机器公司授权不得商用。

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