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在基板（１００）预先设置分离层（１２０），在该基板上形成ＴＦＴ等的薄膜器件（１４０）。在该薄膜器件（１４０）的形成过程中，对分离层（１２０）注入促进剥离用离子、例如氢离子。在薄膜器件（１４０）的形成后，最好在通过粘接层（１６０）将薄膜器件（...
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