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光接收元件和光电转换装置制造方法及图纸
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文档序号:3218897
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为了减小光接收元件的电容,本发明提供一种光接收元件,包括一个第一导电型的第一半导体区;一个第二导电型的第二半导体区,设在第一半导体区上;一个第一导电型的第三半导体区,设在第二半导体区与一隔离膜之间;和一个第二导电型的电极区,设在第二半导体区...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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