下载一种面式蒸发源及蒸镀设备的技术资料

文档序号:32187715

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种面式蒸发源及蒸镀设备,包括外壳体,所述外壳体内放置有蒸镀坩埚,所述蒸镀坩埚内从一端至另一端均匀开设有若干个蒸镀腔,所述蒸镀腔上端一体成型有窄口,所述窄口上端一体成型有开放喷口,两两所述开放喷口的喷射面相衔接,所述蒸镀坩埚内且...
该专利属于江苏微迈思半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微迈思半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。