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提供了一种用于增加在液体如超纯去离子水中溶解的气体如臭氧的量的方法和系统。被溶解的气体（１０）在压力下引入到液体（３１）中，在压力（４０）下形成输送到成品使用装置的混合物。到达成品使用装置后，含有液体和溶解气体的混合物进行受控分配。因此，本...
该专利属于FSI国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过FSI国际公司授权不得商用。

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