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一种光刻校正的方法，用当图形呈现一凹角２１时，所显像后的光刻胶便会有残留，反之，如为一凸角时，便会有过蚀的情形，推衍出首先将集成电路分割，而后对每一分割块的四个角进行分析，判断此四个角与周围的图形间为凸角、或凹角、或是平坦状态，而后依其状态...
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