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本发明公开了一种晶圆提拉干燥的动态交接方法及晶圆干燥装置，所述动态交接方法包括：提拉机构的夹紧部预先移动至交接位置下侧；顶升机构推动晶圆向上移动；当晶圆中心通过所述夹紧部，夹紧部加速向上移动至其速度与顶升机构的速度相同后，夹紧部与顶升机构匀...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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