下载堆叠电容器存储单元及其制造方法的技术资料

文档序号:3218318

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一种存储单元包括场效应晶体管和堆叠电容器。该堆叠电容器具有由位于介质层部分的侧壁上的铂层形成的一个极板,所说介质层叠于与连接到单元的存储节点的导电栓塞接触的导电层上。电容器介质叠于该介质层部分的侧壁和上部,电容器的另一极板由电容器介质上的铂...
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