下载敏射线树脂组合物的技术资料

文档序号:3218203

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种敏射线树脂组合物,其中向光敏性树脂基组合物中加入特定量的荧光物质制得该组合物,它具有优良的敏感性,分辨度与膜层保护特性,并能形成令人满意的(光致防蚀)图形。当该光敏性树脂基组合物至少兼有一种树脂和一种光敏性物质时,例如一种含有碱溶性线型...
该专利属于克拉瑞特金融(BVI)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过克拉瑞特金融(BVI)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。