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基于GPU加速水平集进行逆光刻掩膜优化的方法、计算机系统及介质，为了解决掩膜优化的问题，对所获得的掩膜图像以及卷积核分别进行FFT运算，相应得到FFT结果，再通过FFT进行光刻模型演算，获得光刻结果，通过GPU优化函数减少光刻目标和光刻结果...
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