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本发明提供了一种微发光二级管的制备方法，依次循环利用化学刻蚀工艺、钝化工艺及物理轰击工艺对所述外延层及所述衬底进行操作直至完成裂片，形成单个的微发光二级管，这种裂片方式可以降低形成的划片槽的线宽，提高单位可产出的微发光二级管数量；由于没有切...
该专利属于厦门士兰明镓化合物半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门士兰明镓化合物半导体有限公司授权不得商用。

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