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利用曝光光束经由掩模来曝光基板的曝光装置具有：移动基板的可动载置台；收纳可动载台的载置台室；在载置台室内搬运基板的搬运系统；在载置台室内相对于可动载置台对准基板位置的第１对准系统。用第１对准系统可以对准由搬运系统交接到载置台室内的被曝光体的...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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