温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆限位栓的偏离限位机构，包括晶圆载盘、升降底盘和限位栓，所述限位栓下端固定在升降底盘上，限位栓上端穿过晶圆载盘上的限位孔，所述限位栓至少为三根，相邻的限位栓之间设有一应力调节装置，所述应力调节装置包括形变支撑杆、C形抱...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。