温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种冷却可控的碳化硅单晶生长装置，属于碳化硅晶体技术领域；包括晶体生长室，晶体生长室设置有冷却风箱，冷却风箱的送风风腔通过送风管道连接有风冷控制装置，冷却风箱的出风口通过排风管道与风冷控制装置的进风口相连接；风冷控制装置包括...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。