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制备薄膜的方法及所制薄膜结构技术
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文档序号:3217672
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本发明涉及一种制备薄膜的方法,它包括以下几个步骤:通过第一个基质层(10)的表面和通过第二个基质层(20)的表面注入几种气体,这就能够在这些基质层中生成微型空腔(11,21)为每个基质层限定出一个薄层(13,23)它处在这些微腔与受注入面之...
该专利属于法国原子能委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能委员会授权不得商用。
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