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无电镀金属衬层形成方法技术
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文档序号:3217526
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一种具有带窗口的半导体介质材料的半导体结构。第一材料对窗口进行衬里,第一材料包含MXY,其中M选自钴及镍,X选自钨及硅,而Y选自磷及硼,并且第二材料填充被衬里的介质材料。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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