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本发明涉及一种在一半导体衬底上镀敷绝缘物质用以形成一电容器组件的方法。该方法包括从一金属靶上将一金属氧化物层反应溅镀到所述衬底上的步骤，其中支撑件被施加偏压，用以随着金属氧化物的形成穿经所镀敷的绝缘物质而感应出一直流电压。该电压可以在２００...
该专利属于特利康控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特利康控股有限公司授权不得商用。

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