温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种带烘干装置的半导体硅片的清洗装置，涉及半导体晶片清洗技术领域，针对背景技术提出的一种用于半导体晶片的清洗装置在使用时需要手动将清洗框提起放入到超声波仪器中，这样会增加工作人员的劳动量，费时费力的问题，现提出以下方案，包括...
该专利属于康耐威自动化科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康耐威自动化科技（昆山）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。