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本发明的装置提供ＵＶ源既加热衬底和促进衬底处理所必需的光化学的两种用途。本发明还提供一种处理衬底的方法，通过第一功率电平的ＵＶ辐射使衬底加热到环境温度以上的温度，并在出现第二功率电平的ＵＶ辐射时，通过把衬底暴露在光化学（ＵＶ）反应化合物或能...
该专利属于FSI国际股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过FSI国际股份有限公司授权不得商用。

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