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一种半导体基板载具及其制作方法。为提供一种不会污染半导体基板、降低成本的半导体加工用辅助装置及其制作方法，提出本发明，载具包括成形有数个载具窗口的载具框架及耐热胶带；耐热胶带上设有略小于载具窗口并形成胶带翼缘的胶带窗口；载具制作方法包括制成...
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