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CMOS工艺中的同轴互连线的制作方法技术
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文档序号:3216889
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提供了一种半导体芯片上制造有集成的CMOS电路和RF电路的半导体器件及其制造方法。此方法包括制作下金属化层以及下金属化层上的下介电层。在下介电层上制作金属化线,以上介电层在金属化线上。然后在上介电层上制作上金属化层。在完成这一步骤之后,沿下...
该专利属于皇家菲利浦电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家菲利浦电子有限公司授权不得商用。
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