温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

除了包含有需蒸镀固体层元素的原始气体（Ｐ）之外，还向反应腔（１０；２０）的反应室导入至少一种助剂（Ｈ），如此来构造所述的助剂（Ｈ），使得其包含有具备偶极矩的分子，且这些分子具有如下特性，即它们在沉积处理期间可以利用垂直于基片表面的偶极矩而短...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。