下载一种半导体双面同时检测的机构的技术资料

文档序号:32164051

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本实用新型公开一种半导体双面同时检测的机构,包括两根平行的第一基板移动轨道和第二基板移动轨道,第一基板移动轨道和第二基板移动轨道的滑块上形成半导体放置位,还包括分设于半导体放置为上方、下方的上检测机构和下检测机构,第一基板移动轨道和第二基板...
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