下载一种操作电压可调控的阻变存储器及制备方法的技术资料

文档序号:32164017

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本发明专利公开了一种操作电压可调控的阻变存储器及制备方法,包括自下而上依次设置的衬底、底电极、阻变层和顶电极,阻变层是掺杂有W的Ta2O5薄膜,其厚度为40
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