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图案化二维材料的制备装置制造方法及图纸
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文档序号:32163919
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本发明涉及二维材料制备技术领域,具体是一种图案化二维材料的制备装置,包括有腔体、三维驱动部件、样品固定部件、第一加热部件、抽真空部件和多个气体输送部件;所述三维驱动部件安装在所述腔体底部,所述样品固定部件安装在所述三维驱动部件上,所述第一加...
该专利属于国家纳米科学中心所有,仅供学习研究参考,未经过国家纳米科学中心授权不得商用。
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