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自我对准的双极性结型晶体管及其制造方法技术
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文档序号:3215780
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本发明是一种自我对准的双极性结型晶体管及其制造方法。在半导体基板上形成一第一基极区、一发射极区和一第二基极区,形成各邻近于发射极区的一对氮化硅间隔物,用具有第一导电型的杂质掺杂第一与第二基极区,除去氮化硅间隔物,发射极区形成小于或等于0.3...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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